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阿斯麦赢得台积电和三星承诺,使用其新一代EUV光刻机
2026.09.08 14:25
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5
3
钛媒体App 9月8日,荷兰光刻机制造商
阿斯麦
(ASML)连续发布三则公告,宣布与
台积电
、三星电子及
英特尔
晶圆代工(Intel Foundry)推进高数值孔径(High NA)极紫外光刻(EUV)技术应用。其中,
台积电
计划自2030年起将
阿斯麦
High NA用于先进制程大规模生产;三星计划于2028年前首次将High NA用于DRAM大规模生产。
英特尔
则表示,目前已处理超过100万片采用High NA相关技术的晶圆。(广角观察)
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英特尔
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阿斯麦
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