钛媒体6月6日消息,据最新消息,华为旗下的哈勃投资公司开始投资光刻机领域,入股了由中科院微电子所控股的科益虹源公司。
企业信息显示,北京科益虹源光电技术公司日前发生了变化,注册资金从1.2亿元增加到2.02亿元,增长68%,主要是投资人多了,其中就有华为旗下的哈勃投资,占股4.76%,成为第七大股东。
据悉,科益虹源的控股股东是中科院微电子所,持股26.6%,主要业务就是光刻机中的三大核心技术之一的光源系统,是国内第一、全球第三的193nm ArF准分子激光器企业。
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