ASML:已交付10台EUV设备,最新规格拟明年中期发货

钛媒体10月14日消息,半导体设备供应商阿斯麦(ASML)举行的财报会上,ASML总裁兼首席执行官Peter Wennink表示,公司第三季度的销售额达到40亿欧元,一共交付了10台EUV(极紫外)设备,并在本季度实现了14台设备的销售收入。在过去的第三季度中,其业务没有因为疫情受到大规模的负面影响。第三季度的新增订单达到29亿欧元,其中5.95亿欧元来自4台EUV设备。 在DUV光刻业务领域,ASML表示,在本季度对第一台TWINSCAN NXT:2050i 进行了质量认证,并于第四季度初发货。NXT:2050i基于NXT平台的新版本,其中包括掩模版工作台,晶圆工作台,投影物镜和曝 光激光器的技术改进。 在EUV光刻业务领域,ASML公布了TWINSCAN NXE:3600D的最终规格,30mJ/cm2的曝光速度达到每小时曝光160片晶圆,提高了18%的生产率,并改进机器匹配套准精度至1.1纳米。同时,ASML计划于2021年的中期开始发货。 而ASML CFO Roger Dassen在财报会议的视频采访中谈到了与中芯国际等客户的业务情况。 Roger Dassen指出,在中国业务方面,去年中国本土客户为ASML创造了约8亿欧元的销售额,今年将会更多,预计超过10亿欧元。ASML今年客户以逻辑工艺领域为主,中芯国际则是ASML的主要逻辑工艺领域客户。“我们不会对特定的客户情况进行推测或评论,但总的来说,我们会在法律和法规要求的范围内尽最大的能力继续为客户提供服务,”

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