全球在运行的EUV光刻机共314台,退役26台,合计340台——每台都有唯一的序列号,被ASML实时监控着运行状态、位置坐标和连接信号。它们分布在中国台湾、韩国、美国、日本、欧洲。没有一台在中国大陆。
这是ASML自己给出的数据。
但在2026年4月的一场闭门会议上,美国商务部长霍华德·卢特尼克(Howard Lutnick)告诉ASML的高管团队:我们怀疑,有一台EUV可能在中国。
这不是一次试探性的外交照会。据彭博社报道,卢特尼克在最近一系列会议中反复向ASML高层施压,指控这家荷兰公司可能违反了自特朗普第一任期以来就实施的EUV对华出口禁令。美方高级官员声称他们掌握了"证据"——ASML向中国运送了EUV相关组件和运输设备。但他们拒绝出示。不对媒体出示,甚至不向ASML出示。
ASML的回答简洁而果断:从未向中国出售或运送过任何EUV光刻机,中国境内从来没有,现在也没有。
一场围绕"看不见的证据"的罗生门,就此展开。
一场"证明不存在"的困局
这是一场注定没有标准答案的博弈。原告——美国政府——手握"证据"但不展示。被告——ASML——被要求证明一件从未发生的事情从未发生。
根据彭博社获取的一份ASML内部文件,标题为No indication of any ASML EUV System in China(无迹象表明任何ASML EUV系统在中国),该公司罗列了一组精确数据:全球在运行的EUV设备共314台,已退役26台,合计340台——生产序列号、客户名称、安装地点,全部可追溯。没有一台在中国。
这些数据的技术可信度极高。每台EUV光刻机大小相当于一辆校车,拆解后需要装满约40个海运集装箱,安装需要数周时间,运行环境要求严格到令人发指——超洁净室、专用电力系统、恒温恒湿。更重要的是,ASML对每一台已交付的EUV设备都保留了远程监控能力,可以检测到"任何中断、异常行为或连接丢失"。
ASML CEO 克里斯托夫·富凯(Christophe Fouquet)在六周前接受TechCrunch采访时曾直接回应中国的EUV问题。他说,ASML追踪着每一台已出厂的机器——它们要么在有监控的客户工厂中运行,要么已被拆解归还给公司。他还透露,ASML多年前就建立了内部防火墙:有权接触EUV技术、文档和培训的员工,与被隔离在外的员工,两者之间不存在信息流动通道。而ASML在中国的员工,从一开始就被设计在"墙外"。
美方的指控有一个关键特征:它使用"可能"(may have)而非"确认"。当被问及是否有实际证据证明一台完整的EUV系统已进入中国时,商务部拒绝回应。
一项严肃的指控,来自美国最高级别的贸易官员。但尚未提供足以让ASML、市场或公众信服的任何证据。
为什么是现在?三种可能性
如果ASML的说法属实——EUV确实不在中国——那么美国为什么选择在这个时间点抛出这项指控?
可能性一:信息误判
美方情报可能将DUV设备或EUV相关备件错认为完整的EUV系统。ASML确实向中国销售DUV光刻机——中国是ASML 2025年最大的单一市场,占其总营收的33%。某些DUV运输设备和专用备件在物流环节被拦截检查时,可能被误读为EUV相关品类。
可能性二:战术施压
这可能是美国对ASML整体业务活动不满的信号。彭博社援引美方高级官员的话称,ASML一直在为被列入实体清单的中国公司SwaySure Technology提供技术支持——这是2024年被列入黑名单的华为合作伙伴。如果美方想迫使ASML彻底切断与中国实体清单客户的联系,"EUV走私"是一个极高效的施压杠杆。
值得注意的是,美方高级官员还告诉彭博社,他们对ASML的"整体业务活动"感到担忧,但同样拒绝提供细节。
可能性三:为政策铺路
就在这一指控浮出水面的同时,美国商务部在卢特尼克的领导下,正在通过CHIPS法案资助xLight——一家开发下一代EUV光源技术的美国初创公司,拨款金额达1.5亿美元。xLight的CEO此前告诉TechCrunch,该技术有望长期挑战ASML在EUV领域的核心垄断地位。
制造"ASML可能违规"的叙事,既能为更严厉的出口管制铺路,也能为美国本土替代技术争取政治支持。这不是阴谋论——这是华盛顿的标准操作流程。
ASML的两难:钢丝绳上的巨人
ASML正在走一根极细的钢丝绳。一边是中国的巨大市场,一边是美国的准入许可。
该公司2025年交出了创纪录的成绩单:总营收327亿欧元,净利润96亿欧元,毛利率52.8%。中国市场占其营收的33%——是其最大的单一市场。ASML预计2026年中国份额将降至约20%,但这仍然是一个年销售额约65–80亿欧元的市场。
如果美方将"怀疑"升级为"制裁",ASML面临的不只是中国市场进一步萎缩的风险——它还可能被限制向中国客户提供已安装设备的维护服务。这将直接压缩其服务收入,而服务收入一直以来都是ASML重要的增长引擎。2026年第一季度,ASML的Installed Base Management收入已达25亿欧元,同比增长25%。
另一方面,如果ASML反应过度激进——主动向中国客户停止一切服务以自证清白——那等于自断一臂,将市场份额拱手让给Applied Materials、Lam Research等美国竞争对手。它们在中国市场的地位本就更弱,但绝不会放过这个机会。
ASML 2026年第一季度的数据已经给出了一个信号:中国在ASML系统销售中的占比已从2025年第四季度的36%骤降至19%,与全年约20%的预期一致。但EUV需求依然强劲——Q1出货42台EUV,其中包含两台High-NA系统,推动EUV销售额达41亿欧元,占总系统销售额的65%。ASML随后上修了2026年全年指引至360–400亿欧元。
简言之:AI驱动的EUV需求正在爆发。ASML不需要中国市场也能增长,但它承受不起被彻底切断与美国技术体系联系的代价。
中国芯片自主:窗口正在收窄
无论指控真假,它已经造成了一个确定的伤害:中国半导体设备自主化的紧迫感再次升级。
目前中国最先进的芯片制造商中芯国际(SMIC)已经能够使用DUV多重曝光技术生产7nm和5nm级别的芯片。但在没有EUV的情况下,3nm以下制程的大门基本关闭。华为的半导体负责人最近在一场罕见的英文公开演讲中,展示了在没有ASML EUV的情况下进行芯片创新的成果。与此同时,中国企业和研究机构正同时在探索多条技术路径:LDP(激光诱导放电等离子体)EUV光源、电子束直写光刻、自组装光刻等。
但中国产业界也坦诚地承认了差距。Tom's Hardware报道援引中国半导体高管的公开呼吁称,国内光刻设备产业"小而散、小而弱",需要一个全国性的整合努力才能建立ASML的替代方案。
ASML花了20年和数千亿美元才建立起今天的EUV生态。其背后是超过5000家分包商的供应链网络、数十年的高量制造数据和持续迭代的工程技术积累。追赶者不仅要造出同等精度的机器,还要复制整个生态系统。
三种结局,一个趋势
结局一:不了了之
美方最终无法提供证据,事件被淡忘。但"怀疑"的种子已经种下。未来任何与中国芯片突破相关的消息,都会被与"EUV走私"联系起来——不管有没有证据。
结局二:美方加码施压
即使没有找到EUV,美方也可以"合规不透明"为由,进一步收紧对ASML的管制——例如禁止ASML向中国实体清单客户提供任何技术支持,或要求荷兰政府配合更严格的审查。
结局三:ASML被迫做选择
这是最坏情况。如果中美科技战持续升级,ASML可能被推向最不想面对的选择——放弃中国市场,或失去美国核心客户的信任。考虑到美国市场对ASML的核心重要性——台积电、英特尔、美光等全部依赖ASML设备——答案几乎不言自明。
真正重要的不是那台机器
这场风波中最值得关注的,不是那一台"可能在中国"的EUV是否存在。
而是:美国已经将半导体设备管控推到了"怀疑即指控"的程度。无需实锤,只需怀疑,就能对一个全球最有价值的科技公司施加巨大压力。
而是:ASML——这家几乎不为大众所知、但却是全球AI产业链中最关键的公司——已经在华盛顿进入了"危机模式"。它在彭博社报道中透露的内部文件不是一份平常的合规报告,而是一份被专门命名为"无迹象表明任何ASML EUV系统在中国"的辩护文件。
而是:对中国而言,无论那台EUV是否存在,"没有EUV"是必须面对的现实。美国不会因为这次查无实据就放松管制——恰恰相反,这种"宁可疑错,不可放过"的态度,意味着中国芯片自主的窗口正在收窄。
EUV光刻机:每一台都被追踪,每一台都在监控之下。一台都没有在中国。
但问题从来都不在于那台设备是否存在。问题在于,当"可能"已经足以构成指控,当"证明不存在"比"指控存在"更加困难——芯片战争的规则已经永远改变了。不是你的设备在哪里,而是别人相信你的设备在哪里。






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