钛媒体App 12月9日消息，今年1到11月，市场监管总局新批准发布85项服务“双碳”工作和精密制造产业发展的国家标准物质，为提高碳测量数据和精密制造测量数据精准性提供有力支撑。在服务精密制造产业发展方面，批准发布高纯氮、高纯氧等13项电子气体国家标准物质。在半导体器件制造过程中，高纯度电子气体标准物质可用于清洗、刻蚀、沉积等多个关键环节，确保晶圆的纯净度和性能。在集成电路生产过程中，高纯度电子气体标准物质在光刻、离子注入、氧化等工艺中发挥着重要作用，保障集成电路的稳定性和可靠性。 (央视新闻)