钛媒体1月20日消息,在应用业务中,ASML在第四季度向客户交付了第一台YieldStar 385系统。YieldStar 385具备最新的量测技术,提高量测速度和准确度,可以满足3纳米制程的要求。与以前的系统相比,主要的增强功能包括更快的工作台和更快的波长切换,这可以实现高精度的套准测量和使用多个波长的设备匹配。(来源:财联社)
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